你知道TOPCon電池嗎？在當今高度發展的科學技術中，各種各樣的高科技出現在我們的生活中，為我們的生活帶來便利，那么您是否知道這些高科技可能包含TOPCon電池？ TOPCon是基于選擇性載流子原理的隧道氧化物被動接觸（隧道氧化物鈍化接觸）太陽能電池技術。它的電池結構是一個N型硅襯底電池，在電池的背面準備了一層超薄氧化硅，然后沉積一層摻雜的硅薄層，兩者共同形成了鈍化接觸結構，有效地減少了表面復合和金屬接觸的復合，并為進一步提高N-PERT電池的轉換效率提供了更大的空間。
TOPCon技術與n-PERT雙面電池生產線兼容，并且可以通過簡單轉換n-PERT雙面電池生產來實現N型單晶雙面TOPCon電池的大規模生產。線。
隧道氧化物層可以通過熱氧法獲得。在降低氧分壓之后，氧化速率緩慢，并且可以獲得具有可控制的厚度和均勻性的氧化硅膜層。
可以通過硅烷在高溫下的熱分解來實現多晶硅層。在電池的背面準備了超薄的隧道氧化層和高摻雜多晶硅薄層，它們一起形成鈍化接觸結構，從而為硅晶片的背面提供了良好的表面鈍化。
薄氧化層允許多載流子電子隧穿到多晶硅層中，同時阻止少數載流子空穴的復合，然后電子在多晶硅層中橫向傳輸并被金屬收集，從而大大降低了金屬接觸復合電流和增加電池的開路電壓和短路電流。 TOPCon的正面與常規N型太陽能電池或N-PERT太陽能電池之間沒有本質區別。
電池的核心技術是背面鈍化接觸。硅晶片的背面由一層超薄氧化硅（1?2nm）和一層摻磷的微晶與非晶混合硅薄膜組成。
鈍化性能通過退火過程被激活，并且硅膜的結晶度在退火過程中發生變化，從微晶非晶混合相變為多晶。 iVoc在850℃的退火溫度下退火。
710 mV，J0在9-13 fA / cm2時，顯示出極好的鈍化接觸結構的鈍化性能，制備的電池效率超過23％。 N型前結鈍化接觸太陽能電池的當前世界紀錄（25.8％）由Fraunhofer-ISE研究所保持。
LPCVD設備可以一站式完成隧道氧化層和多晶硅層的制備。熱氧和多層沉積的二合一工藝可以大大提高生產能力并降低設備成本，與其他設備相比具有很大的優勢。
在完成熱氧工藝之后，在低壓下沉積多晶硅層。除了節省時間外，保護超薄氧化硅層更為重要。
一方面，氧化層不會脫離船體。氧化會失去隧穿作用；另一方面，氧化物層不會在空氣中被污染。
在多晶硅層中有兩種摻雜磷的方法，即原位摻雜和異位摻雜。原位摻雜是在多晶硅沉積期間的直接摻雜。
在沉積多晶硅層之后進行異位摻雜。可以選擇兩種方法，一種是離子注入和退火，另一種是磷擴散。
離子注入工藝具有較好的單面性，但設備昂貴，生產率低，大規模量產設備的成本較高。磷光體膨脹過程的單面性稍差，但是可以通過過程設計解決該問題，并且磷光體擴散設備在光伏市場中已經非常成熟，價格低廉，并且過程也非常穩定。
綜合考慮，在TOPCon電池的批量生產中，LPCVD完成了隧道氧化層和Poly層的制備，然后磷擴散是最佳的成本效益選擇。以上是對TOPCon電池的一些詳細分析，值得每個人學習。
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